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旋转阴极 -
旋转阴极
- 型号SK001
升级平面阴极到旋转阴极 在不增加真空室的情况下，提高现有镀膜生产线的产能和质量。 减少因靶材打弧放电造成的工艺不稳定和工件污染。 提高靶材利用率，节省靶材成本。
升级平面阴极到旋转阴极
在不增加真空室的情况下，提高现有镀膜生产线的产能和质量。
减少因靶材打弧放电造成的工艺不稳定和工件污染。
提高靶材利用率，节省靶材成本。
本阴极的优点
高可靠性
最简便的安装或改造
可实现快速换靶
可以允许较大的靶材长度误差
超低的维护成本
可适用于任何靶材供应商的靶材
无感应发热导致的不良影响
水流管道经过防腐处理，可以防止微流腐蚀
