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- 型号1
本公司的旋转阴极端头可以安装在任何镀膜生产线上或者替代现有的阴极端头。 安装在新系统上 可以单独销售阴极端头，阴极端头维护备件和整套旋转阴极系统，包含驱动及相关功能—即装即用。 替换现有的阴极端头 适用于任何长度的系统 不需要对阴极盖板进行任何改造 可利用现有设施，完美匹配阿登纳镀膜线，莱宝镀膜线和国产的各种镀膜线 不需要更换电源，布气系统或者阳极 适用于现有的靶材设计
本公司的旋转阴极端头可以安装在任何镀膜生产线上或者替代现有的阴极端头。
安装在新系统上
可以单独销售阴极端头，阴极端头维护备件和整套旋转阴极系统，包含驱动及相关功能—即装即用。
替换现有的阴极端头
适用于任何长度的系统
不需要对阴极盖板进行任何改造
可利用现有设施，完美匹配阿登纳镀膜线，莱宝镀膜线和国产的各种镀膜线
不需要更换电源，布气系统或者阳极
适用于现有的靶材设计
本阴极的特性
靶筒用卡环方式固定，安装快捷方便不会卡死
稳定持久的真空密封：可确保阴极在高功率高电流的情况下维持真空度的稳定，每对端头在出厂前都经过严格的抽真空测试，漏率小于1×10-10mbar l/s。阴极水密封耐压高达125 psi，使用寿命长，可达5,000,000转 , 确保在连续一年的使用期内密封无失效。
严格的品质保证：我们的端头采用高精度数控设备加工，具有很高的制造精度和装配精度。所有的密封件、轴承件和导电绝缘组件全部进口，具有更长的使用寿命和稳定性。
标准阴极盖板安装方式，适用于现在国内外几乎所有的大面积磁控溅射镀膜线
适用于各种靶材设计，可以安装喷涂靶，帮定靶和浇铸靶
先进的靶筒排水特性，通过吹水几乎可以将靶筒内的水完全排干
最大化的膜层沉积速率：最大操作功率可以达到120KW，最大工作电流可达到400A（30KHz时）
- 上一条Low-E生产线升级改造
- 下一条旋转阴极
